1、按照PLC程序抽低真空：緊閉所有的真空閥門，啟動機械泵，待其運行正常后（大約1-2 min），打開通向爐體的低真空閥即上碟閥，預先對爐體抽低真空；

2、 按照PLC程序抽高真空：打開下碟閥，對擴散泵進行抽氣，當真空度達到15 Pa以下后，系統自動開啟擴散泵進行預熱，一般經過45 min左右擴散泵開始其作用，就可以關閉上碟閥，同時開啟主阻擋閥待真空度達到1.33×10Pa以上，才可以開啟加熱按鈕對樣品進行加熱。  

真空爐保養可指導設備操作員在職責范圍內對設備各點檢部位,用正確的檢驗方法和工具依據點檢周期進行設備的日常保養；操作員需每日依據此保養說明書認真填寫《熱處理設備日常維護保養記錄》，并由班組長檢查復核，維修員收集存檔。全套設備按技術要求安裝完畢后，無缺件并有良好的接地時，即可按下列項目進行調試與驗收。